Was versteht man unter einem Run 2 Run System

Ein „Run-to-Run-System“ (R2R-System) ist eine Prozesssteuerungsmethode, die vor allem in der Halbleiterindustrie, aber auch in anderen Fertigungsprozessen verwendet wird. Es handelt sich um ein adaptives Steuerungssystem, das von einem Produktionslauf („Run“) zum nächsten basierend auf den Ergebnissen des vorhergehenden Durchlaufs Optimierungen vornimmt. Das Ziel ist es, die Prozessqualität und -effizienz durch kontinuierliche Anpassungen zu verbessern.
Ein R2R-System überwacht und analysiert die Prozessdaten nach jedem Produktionszyklus und passt die Prozessparameter für den nächsten Zyklus automatisch an, um Abweichungen zu minimieren und die Prozessleistung zu maximieren. Diese Systeme werden oft verwendet, wenn es schwierig oder unmöglich ist, während eines Produktionslaufs Echtzeitkorrekturen vorzunehmen.
Beispielsweise können in der Halbleiterfertigung Variationen bei der Herstellung von Chips auftreten. Ein R2R-System würde solche Variationen nach jedem Produktionslauf auswerten und die Parameter anpassen, um im nächsten Durchlauf genauere Ergebnisse zu erzielen.

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